光电模板

什么是光电模板？

• 光电模板是在制造电子部件（半导体）、印刷电路板、MEMS等的过程中使用以玻璃或石英等形成的透明板，是图案形成的原板。
• 使用称为光刻的转移技术，制成转移电子部件或印刷电路板的电路图案等的原板。

TOPRO的光电模板产品

• 胶模板这是拥有优异的性能价格比的基本模板。
   
• 玻璃模板这是使用高分辨率乳剂，其特点是稳定尺寸精度的玻璃模板。
• 铬模板这是高分辨率、高精度、高规格的「铬模板」。
   

以可靠的质量和交货期提供各式光电模板产品。

光电模板比较表

基材/制造标准

		胶模板	玻璃模板	铬模板
基材标准	基材	聚酯纤维	碳酸石灰	碳酸石灰/人工石英
	基材厚度	175μm	1.8～5.0mm	1.0～5.0mm
	膜質	银盐乳剂	银盐乳剂	2层低反射铬膜/单层铬膜/3层铬膜
	膜厚	7～8μm	5～6μｍ	100～125nm
	对应尺寸	～711×813mm	～711×813mm	～700×800mm
	绘画区域	～690×800mm	～680×780mm	～700×800mm
制造标准	最短线	30μm	10μm	1μｍ
	短尺寸精度	±3μｍ～	±1μm～	±0.1μm～
	长尺寸精度	±20μｍ～	±3μm～	±0.5μm～

图像质量比较（30μｍ）

	胶模板	玻璃模板	铬模板
图片

各基材的缩放系数

		聚酯纤维	碳酸石灰	人工石英
温度	缩放系数	0.001％	0.00085％	0.00006％
	转换成一米	10.0μm/℃	8.5μm/℃	0.6μm/℃
湿度	缩放系数	0.0015％	无	无
	转换成一米	15.0μm/％	无	无