产品信息

铬模板

什么是铬模板?

铬模板

这是高分辨率、高精度、高规格的「铬模板」。通过选用人工石英材,对于曝光期间中的温度变化,也能稳定尺寸。可对应最小图案宽度2μm。

用途

MEMS、FPD(LCD/OLED)、WLP、膜片部件等

特点

  • 由于没有条纹,适合用于超高分辨率的图像形成。
  • 通过选用人工石英材,对于曝光期间中的温度变化,也能稳定尺寸。
  • 由于光屏蔽膜的厚度薄,具有优异的转印性能。
  • 可对应最小图案宽度2μm。

对应数据格式化

Gerber(274D/274X) / DWG / DXF / GDS2/ODB++
※也提供高机密性的数据通信方法。欢迎咨询。

选项

  • AP涂层(铬表面附加脫模性)
  • 抗静电损坏模板
基材 碳酸石灰/人工石英
对应尺寸 76.2x76.2mm~508.8x609.6mm
基材厚度 1.0mm~5.0mm
膜质 2层低反射铬膜/单层铬膜/3层铬膜
膜厚 90~110nm
最短线 2μm
短尺寸精度 ±0.2μm~
长尺寸精度 ±0.5μm~
温度変化率 0.00085%(碳酸石灰)
0.00006%(人工石英)
湿度変化率
※也提供上述以外的对应尺寸。欢迎咨询。
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